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访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

从“物流追踪网”到巨能“翅膀” 天舟护送“太空快递”安全签收******

　　中新网北京5月10日电 (王雪姣马帅莎)5月10日凌晨，太空“快递小哥”天舟四号货运飞船，在专属“物流车”长征七号遥五运载火箭的搭载下，顺利升空，踏上空间站的货物运送旅途。

　　科研人员为天舟四号配备了三重安全防护，打造了一张“物流追踪网络”和巨能“翅膀”，保证“太空快递”安全“签收”。

　　三重安全防护举措守护“物流车”安全

　　火箭发射具有一定风险，中国电科集团研制的地面安全遥控系统是火箭发射的必要条件，用于发射任务的主动段，通过对火箭发射过程中的数据进行实时动态监控，来分析判断火箭状态。一旦飞行出现异常，设备将发送特殊指令启动自毁装置，最大程度避免火箭坠地造成的危害。

　　运载火箭上还安装了脉冲相参应答机，作为火箭飞行主动段重要的外弹道测量设备，它可以与地面雷达协同完成运载火箭全程实时航迹测量，实时传送火箭的精确位置、速度信息，为研判正常飞行提供决策支撑。

　　除了依靠光学跟踪、火箭上的设备对火箭监测以外，科研人员专门配备了精密测量雷达。此次发射，中国电科集团研制配备了国内首部大口径雷达遥测一体化系统，可实现对火箭精密跟踪，同时承担火箭遥测信号下行接收与解调工作，对火箭的安全飞行具有重要意义。

5月10日1时56分，搭载天舟四号货运飞船的长征七号遥五运载火箭，在中国文昌航天发射场成功发射。中新社记者骆云飞摄

　　测控“天罗地网” 畅通物流配送通道

　　在运送物资过程中，为了实时捕捉、监控“快递员”的运送轨迹，科研人员在陆海空天、国内外各测控站点，布设了多型号统一测控系统、遥测系统、中继卫星等，共同织就立体通信测控网，全方位、无死角地追踪捕捉“快递”位置。

　　在火箭送飞行器入轨的过程中，多型号统一测控系统、遥测系统、系列测控通信设备，编织成高效可靠的“空-地信息高速公路网”，通过接收和发送指令，精确测量火箭和飞行器的速度、距离、飞行姿态和角度，为火箭发射和天舟四号成功入轨提供精确数据，控制飞行器按照预定轨迹飞行。

　　在海上，新一代船载测量雷达可在测量船摇摆的情况下得到和地面一样高的测量精度，有效弥补陆地测量时间不足，延长测量弧段。

　　“超稳”太阳电池阵为物资飞天插上巨能“翅膀”

　　据悉，中国空间站组合体连续工作一天的用电量抵得上一个家庭约一年的用电量。要想满足如此高的用电需求，中国电科为空间站的每一个航天器，打造了各具特色的巨能“翅膀”，它们组合起来宛如一座巨大的“能量加油站”。

　　其中，为天舟货运飞船打造的国内独创半刚性太阳电池阵“翅膀”，具备高能量、大功率等优势，两翼供电能力超过8kW，其一天的发电量就能满足普通家庭半个多月的用电量。

　　作为一款高电压、万瓦级的大功率太阳电池阵产品，半刚性太阳电池阵以“碳纤维框架+玻璃纤维网格结构”为基板，在继承天舟一号半刚性太阳电池阵技术基础上，天舟四号货运飞船使用的太阳电池阵产品，进一步提高了三结砷化镓太阳电池效率，解决了低轨道高电压太阳电池阵防静电充/放电等问题，降低了太阳电池阵工作温度，让天舟四号这个“大体格”也能“一飞冲天”，顺利将各种物资运往太空。(完)

　　（文图：赵筱尘巫邓炎）

[责编：天天中]

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